精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,ZD流量为80ml/min,精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸...
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