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VTC-100PA真空旋转涂膜机参数

VTC-100PA真空旋转涂膜机参数

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。主要特点1、真空吸附方式固定样件,操作简便。2、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。4、设有12组程序,每组包含6个运行阶段。5、电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。技术参数1

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

主要特点

1真空吸附方式固定样件,操作简便

2、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

4设有12组程序,每组包含6个运行阶段。

5、电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

技术参数

1、电机功率:50W/24V

2、速度范围:500-10000rpm

3、程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

4、增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s

5、时间范围:0-60s

6、吸盘:Φ19mmΦ60mm

7本机可选配加热功能

1)加温范围:室温150

2)加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟

3温度单独控制,与主机程序控制无关联

产品规格

尺寸:450mm×280mm×340mm

重量:20kg

标准配件

1真空吸盘(含O型圈)

2中心定位器(含4个定位柱)

3滴胶注射器(20ml

4注射器支架

5无油真空泵

6橡胶管(含卡箍)

可选配件

过滤器(真空泵用)



技术资料
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  • 实验结果
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  • 旋转涂膜成套设备
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